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发明名称 VERFAHREN ZUM AUSRICHTEN EINES MUSTERS AUF EINEM CHIP
摘要
申请公布号 DE3727453(A1) 申请公布日期 1988.03.03
申请号 DE19873727453 申请日期 1987.08.18
申请人 HEWLETT-PACKARD CO. 发明人 OWEN,GERAINT
分类号 H01L21/027;G03F7/20;G03F9/00;H01J37/304;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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