发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS6342177(A) 申请公布日期 1988.02.23
申请号 JP19860185239 申请日期 1986.08.08
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KIMURA TAMOTSU;YAMAGISHI NAGAYASU
分类号 H01L29/417;H01L21/28;H01L21/338;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L29/417
代理机构 代理人
主权项
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