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发明名称 TEMPERATURE MEASUREMENT FOR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPS6279641(A) 申请公布日期 1987.04.13
申请号 JP19850218110 申请日期 1985.10.02
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TOMINAGA YUKIHIRO
分类号 H01L21/66;G01J5/00;G01J5/02;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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