发明名称 |
THIN-FILM MAGNETIC MATERIAL AND PROCESS OF PRODUCTION THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
US5181020(A) |
申请公布日期 |
1993.01.19 |
申请号 |
US19910673550 |
申请日期 |
1991.03.22 |
申请人 |
UNITIKA, LTD. |
发明人 |
FURUKAWA, SHINJI;OKA, KAZUKI;TANIMURA, AKIRA |
分类号 |
C23C14/14;C23C14/56;G01D5/14;G01R33/02;G01V15/00;G08B13/24;H01F1/03;H01F10/12;H01F10/13;H01F41/18 |
主分类号 |
C23C14/14 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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