发明名称 THIN-FILM MAGNETIC MATERIAL AND PROCESS OF PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 US5181020(A) 申请公布日期 1993.01.19
申请号 US19910673550 申请日期 1991.03.22
申请人 UNITIKA, LTD. 发明人 FURUKAWA, SHINJI;OKA, KAZUKI;TANIMURA, AKIRA
分类号 C23C14/14;C23C14/56;G01D5/14;G01R33/02;G01V15/00;G08B13/24;H01F1/03;H01F10/12;H01F10/13;H01F41/18 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
主权项
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