发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6218034(A) 申请公布日期 1987.01.27
申请号 JP19850156018 申请日期 1985.07.17
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 ISHITANI HIROSHI
分类号 H01L29/812;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/338;H01L29/80 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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