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发明名称 DETECTOR FOR DETECTING PARTICLE BEAMS AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 EP1468309(A2) 申请公布日期 2004.10.20
申请号 EP20030702517 申请日期 2003.01.23
申请人 GESELLSCHAFT FUER SCHWERIONENFORSCHUNG MBH 发明人 BERDERMANN, ELENI;DE BOER, WIM
分类号 H05H7/00;G01T;G01T1/00;G01T1/24;G01T1/26;H01L31/09;H01L31/115;(IPC1-7):G01T1/00 主分类号 H05H7/00
代理机构 代理人
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