发明名称 |
IMPROVEMENTS IN OR RELATING TO RADIATION SENSITIVE COMPOSITIONS |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0127477(A3) |
申请公布日期 |
1986.10.01 |
申请号 |
EP19840303588 |
申请日期 |
1984.05.29 |
申请人 |
VICKERS PLC |
发明人 |
FOLKARD, CHRISTOPHER WALTER;MILLROSS, CHRISTOPHER ROBERT |
分类号 |
G03F7/105;G03F7/40;(IPC1-7):G03F7/02;G03F7/26 |
主分类号 |
G03F7/105 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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