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发明名称 ION IMPLANTATION CONTROL SYSTEM
摘要
申请公布号 AU553379(B2) 申请公布日期 1986.07.10
申请号 AU19840027326 申请日期 1984.03.28
申请人 VEECO/AI. INC. 发明人 GAULT, R.B
分类号 H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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