发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'UN TRANSISTOR EN FILM MINCE ET TRANSISTOR AINSI FABRIQUE
摘要 <P>A.PROCEDE DE FABRICATION D'UN TRANSISTOR EN FILM MINCE.</P><P>B.PROCEDE CARACTERISE EN CE QU'ON REALISE UN FILM SEMI-CONDUCTEUR POLYCRISTALLIN 2 SUR UN SUPPORT PREDETERMINE 1, ON IMPLANTE DES IONS PREDETERMINES DANS LE FILM SEMI-CONDUCTEUR POLYCRISTALLIN MINCE POUR FORMER UN FILM SEMI-CONDUCTEUR AMORPHE MINCE 3, ON REALISE UN FILM D'ISOLATION DE PORTE 8 ET UNE ELECTRODE DE PORTE 7 SUR LE FILM SEMI-CONDUCTEUR AMORPHE 4, ON DOPE DES IMPURETES FORMANT LA REGION DE SOURCE 9 ET LA REGION DE DRAIN 10 DANS LE FILM SEMI-CONDUCTEUR AMORPHE 4 EN UTILISANT L'ELECTRODE DE PORTE 7 ET LE FILM ISOLANT DE PORTE 8 COMME DES MASQUES, ET ON EFFECTUE UN RECUIT POUR DEVELOPPER EN PHASE SOLIDE LE FILM SEMI-CONDUCTEUR AMORPHE MINCE ET EN MEME TEMPS POUR ACTIVER ELECTRIQUEMENT LES IMPURETES ET FORMER LA REGION DE SOURCE ET LA REGION DE DRAIN 9, 10.</P><P>C.L'INVENTION CONCERNE LA FABRICATION DES TRANSISTORS EN FILM MINCE.</P>
申请公布号 FR2573248(A1) 申请公布日期 1986.05.16
申请号 FR19850016906 申请日期 1985.11.15
申请人 SONY CORP 发明人 HISAO HAYASHI ET TAKASHI NOGUCHI;NOGUCHI TAKASHI
分类号 H01L29/78;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/324;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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