| 发明名称 |
SCANNING-TYPE SPUTTERING MASS SPECTROMETER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
US3628009(A) |
申请公布日期 |
1971.12.14 |
| 申请号 |
USD3628009 |
申请日期 |
1970.07.09 |
| 申请人 |
HITACHI LTD. |
发明人 |
HIROSHI DOI;HIFUMI TAMURA;ITIRO OMURA |
| 分类号 |
G01N23/225;G01Q30/02;G01Q30/04;H01J37/256;H01J49/30;(IPC1-7):H01J39/36 |
主分类号 |
G01N23/225 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
