发明名称 |
METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6163031(A) |
申请公布日期 |
1986.04.01 |
申请号 |
JP19850111308 |
申请日期 |
1985.05.23 |
申请人 |
BRITISH TELECOMMUN |
发明人 |
ANDORIYUU JIYURIAN NIKORASU HOUTON |
分类号 |
H01L21/302;G02F1/025;H01L21/027;H01L21/263;H01L21/28;H01L21/3065;H01S5/00;H01S5/042 |
主分类号 |
H01L21/302 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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