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发明名称 WASHING SOLUTION
摘要
申请公布号 JPS6160799(A) 申请公布日期 1986.03.28
申请号 JP19840181844 申请日期 1984.08.31
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SHIMADA OSAMU;SUZUKI KOHEI
分类号 C11D7/04;C11D7/18;C11D7/60;H01L21/30;H01L21/304 主分类号 C11D7/04
代理机构 代理人
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