| 发明名称 |
EXPOSING APPARATUS EMPLOYING SYNCHROTRON RADIATION LIGHT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6151828(A) |
申请公布日期 |
1986.03.14 |
| 申请号 |
JP19840173267 |
申请日期 |
1984.08.22 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KUNIYOSHI SHINJI;SATO KAZUO;KIMURA TAKESHI;OBAYASHI HIDEHITO |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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