发明名称 |
METHOD FOR PROCESSING OXIDE SUPERCONDUCTING FILM |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH01161787(A) |
申请公布日期 |
1989.06.26 |
申请号 |
JP19870318775 |
申请日期 |
1987.12.18 |
申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
YOSHIDA JIRO;MIZUSHIMA KOICHI |
分类号 |
C04B41/87;C01G1/00;H01B13/00;H01L21/3205;H01L39/24 |
主分类号 |
C04B41/87 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|