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发明名称 HERSTELLUNGSVERFAHREN FUER RUECKSEITIGE KONTAKTELEKTRODEN AN HALBLEITERSCHICHTEN
摘要
申请公布号 DD227827(A1) 申请公布日期 1985.09.25
申请号 DD19840265768 申请日期 1984.07.30
申请人 TECHNISCHE HOCHSCHULE,KARL-MARX-STADT,,,DD 发明人 SCHARFF,WOLFRAM,DD;NOWICK,WOLFGANG,DD;BEDDIES,GUENTER,DD;BRETSCHNEIDER,WERNER,DD
分类号 C30B1/02;H01L21/203;H01L21/42;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 C30B1/02
代理机构 代理人
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