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发明名称 연속 스패터 장치
摘要 내용 없음
申请公布号 KR850002686(A) 申请公布日期 1985.05.15
申请号 KR19840005318 申请日期 1984.08.30
申请人 null, null 发明人 다데이시 히데기 (외 4)
分类号 B65G49/07;C23C14/34;C23C14/56;H01L21/203 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
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