发明名称 DOUBLE LAYER PHOTOLITHOGRAPHIC METHOD
摘要
申请公布号 HUT34659(A) 申请公布日期 1985.03.28
申请号 HU19830002345 申请日期 1983.06.29
申请人 MTA KOEZPOENTI FIZIKAI KUTATO INTEZET,HU 发明人 BAKA,KAROLYNE V.E.,HU;SZENTIVANYI,ISTVANNE,HU
分类号 H01L21/312;H05K3/06;(IPC1-7):H05K3/06 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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