发明名称 WORKING DEVICE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS6016376(A) 申请公布日期 1985.01.28
申请号 JP19830124524 申请日期 1983.07.07
申请人 KANSAI NIPPON DENKI KK 发明人 MOURI MIKIO
分类号 B25H1/20;(IPC1-7):B25H1/20 主分类号 B25H1/20
代理机构 代理人
主权项
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