| 发明名称 |
ULTRAVIOLET RAYS IRRADIATING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1092709(A) |
申请公布日期 |
1998.04.10 |
| 申请号 |
JP19960239236 |
申请日期 |
1996.09.10 |
| 申请人 |
SHIBAURA ENG WORKS CO LTD |
发明人 |
WAJIMA NAOKI |
| 分类号 |
B08B7/00;A61L2/10;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
B08B7/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
