发明名称 DIETYLBERYLLIUM-DOPEMIDDEL/KILDE FOR MOCVD-DYRKEDE EPITAKSIALE HALVLEDERLAG
摘要
申请公布号 NO844811(A) 申请公布日期 1984.12.03
申请号 NO19840004811 申请日期 1984.12.03
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMP, 发明人 PARSONS, JAMES D.,
分类号 C30B;C30B25/02;H01L21/205;H01L29/207;(IPC1-7):C30B/ 主分类号 C30B
代理机构 代理人
主权项
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