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发明名称 광전장치 제조장치 및 증착용 어셈블리
摘要 <p>내용없음</p>
申请公布号 KR840006726(A) 申请公布日期 1984.12.01
申请号 KR19830005345 申请日期 1983.11.11
申请人 null, null 发明人 유진 포니어 (외 1)
分类号 H01L31/04;C23C16/511;H01J37/32;H01L21/205;H01L31/20 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
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