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发明名称 METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS59186331(A) 申请公布日期 1984.10.23
申请号 JP19840040280 申请日期 1984.03.02
申请人 MONSANTO CO 发明人 DEERU YUUJIN HIRU
分类号 H01L21/322;H01L21/52 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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