| 发明名称 |
GLOCKE AUS QUARZGLAS FUER HALBLEITERTECHNOLOGISCHE ZWECKE. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CH644409(A5) |
申请公布日期 |
1984.07.31 |
| 申请号 |
CH19800000578 |
申请日期 |
1980.01.24 |
| 申请人 |
HERAEUS QUARZSCHMELZE GMBH |
发明人 |
ALFONS GUTERMANN;HEINZ HERZOG;HEINRICH MOHN;KARL A. SCHUELKE |
| 分类号 |
C30B25/08;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):C30B35/00 |
主分类号 |
C30B25/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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