发明名称 (A) ;DIAZOLYLALKANOLS
摘要 PURPOSE:To make it possible to perform selective minute working of a permalloy layer in a plurality of metal layers by using a mixed aq. soln. contg. nitric acid, hydrochloric acid and ammonium persulfate.
申请公布号 JPS5929671(B2) 申请公布日期 1984.07.21
申请号 JP19770092413 申请日期 1977.07.29
申请人 SHARP KK 发明人 NAKAMICHI MASUMI;MURAMATSU TETSUO;MASUKAWA MASAYA
分类号 C09K13/04;C23F1/20;C23F1/28;H01F41/14;H01L21/308;H05K3/06 主分类号 C09K13/04
代理机构 代理人
主权项
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