发明名称 |
(A) ;DIAZOLYLALKANOLS |
摘要 |
PURPOSE:To make it possible to perform selective minute working of a permalloy layer in a plurality of metal layers by using a mixed aq. soln. contg. nitric acid, hydrochloric acid and ammonium persulfate. |
申请公布号 |
JPS5929671(B2) |
申请公布日期 |
1984.07.21 |
申请号 |
JP19770092413 |
申请日期 |
1977.07.29 |
申请人 |
SHARP KK |
发明人 |
NAKAMICHI MASUMI;MURAMATSU TETSUO;MASUKAWA MASAYA |
分类号 |
C09K13/04;C23F1/20;C23F1/28;H01F41/14;H01L21/308;H05K3/06 |
主分类号 |
C09K13/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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