PROCEDE DE DEPOT PERMETTANT DE PRODUIRE UNE PARTICULARITE VOULUE SUR UN SUBSTRAT, NOTAMMENT POUR FORMER DES TETES D'ENREGISTREMENT MAGNETIQUE EN PELLICULES MINCES

摘要

ON FORME UNE COUCHE 34 D'INHIBITEUR D'ADHESION SUR LA SURFACE D'UN SUBSTRAT 32 SUIVANT UNE CONFIGURATION REPRODUISANT LES LIMITES DE LA PARTICULARITE A PRODUIRE; ON DEPOSE UNE PREMIERE COUCHE 36 DE MATIERE DE DEPOT SUR LA COUCHE 34 D'INHIBITEUR D'ADHESION ET SUR LES PARTIES DECOUVERTES DU SUBSTRAT; ON FORME UNE CONFIGURATION 38 DE VERNIS PHOTOSENSIBLE SUR LA PREMIERE COUCHE 36 AU VOISINAGE DES BORDS DE L'INHIBITEUR D'ADHESION; ON DEPOSE UNE DEUXIEME COUCHE 40 DE MATIERE DE DEPOT SUR LES PARTIES DECOUVERTES DE LA PREMIERE COUCHE 36; ON RETIRE LA CONFIGURATION 38 DE VERNIS PHOTOSENSIBLE; ET ON RETIRE LA COUCHE D'INHIBITEUR, LA PARTIE DE LA DEUXIEME COUCHE N'APPARTENANT PAS A LA PARTICULARITE A PRODUIRE ET LA PARTIE DE LA PREMIERE COUCHE SE TROUVANT SUR LA COUCHE D'INHIBITEUR, LESDITES PARTIES DES PREMIERE ET DEUXIEME COUCHES 36, 40 ETANT ENLEVEES PAR DECOLLEMENT ET CASSURE OU DECOUPAGE DE LA DEUXIEME COUCHE AU VOISINAGE DES BORDS DE LA COUCHE D'INHIBITEUR.