| 发明名称 |
POSITIVE RESIST MATERIAL, MANUFACTURE THEREOF AND POSITIVE RESIST FOR FORMING SURFACE TEXTURE OF MATERIAL MADE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS58160951(A) |
申请公布日期 |
1983.09.24 |
| 申请号 |
JP19830027824 |
申请日期 |
1983.02.23 |
| 申请人 |
MAX PLANK GES ZUR FORDERUNG DER WISSENSCHAFT EV |
发明人 |
FURIITOYOOFU ASUMUTSUSEN;HIDETO SOTOBAYASHI;JIANNTSUN CHIEN;BUORUFURAMU SHIYUNAABERU |
| 分类号 |
G03F7/26;C08F20/00;C08F20/22;G03C1/72;G03C5/00;G03F7/039 |
主分类号 |
G03F7/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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