| 发明名称 |
TEST CIRCUIT OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS58115372(A) |
申请公布日期 |
1983.07.09 |
| 申请号 |
JP19810214815 |
申请日期 |
1981.12.29 |
| 申请人 |
FUJITSU KK |
发明人 |
KABASHIMA KATSUHIKO;TAKEMAE YOSHIHIRO;NOZAKI SHIGEKI;OOHIRA TAKESHI;MIYAHARA HATSUO;KANAI MASAKAZU;EMOTO SEIJI |
| 分类号 |
G01R31/26;G06F11/00;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/00;H01L27/04 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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