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发明名称 ELECTROSTATIC DEFLECTION SYSTEM WITH ABERRATION CORRECTION
摘要
申请公布号 SU983819(A1) 申请公布日期 1982.12.23
申请号 SU19813290612 申请日期 1981.05.13
申请人 FIZIKO-TEKHNICHESKIJ I IM.A.F.IOFFE 发明人 AFANASEV VASILIJ P,SU;FISHKOVA TATYANA YA,SU
分类号 H01J29/74;(IPC1-7):H01J29/74 主分类号 H01J29/74
代理机构 代理人
主权项
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