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发明名称
摘要
申请公布号 JPS57178437(U) 申请公布日期 1982.11.11
申请号 JP19810064545U 申请日期 1981.05.01
申请人 发明人
分类号 H01L21/673;B23K20/00;H01L21/50;H01L23/48;H01L23/50;(IPC1-7):H01L21/50 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
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