PROCEDE ET DISPOSITIF POUR LA PRODUCTION DE COUCHES D'OXYDES TRANSPARENTES ET CONDUCTRICES

摘要

PROCEDE ET DISPOSITIF POUR LA PRODUCTION DE COUCHES D'OXYDES TRANSPARENTES ET CONDUCTRICES SUR DES SUBSTRATS HUMIDES, PAR LA PULVERISATION CATHODIQUE AMPLIFIEE PAR UN CHAMP MAGNETIQUE DE CIBLES EN CERAMIQUES D'OXYDES PRESSEES A CHAUD.

LA PULVERISATION S'EFFECTUE SOUS UNE TENSION CONTINUE DE 150 A 600V, AVEC UNE DENSITE DE PUISSANCE DE 3 A 15 ET DE PREFERENCE DE 5 A 10WCM. LE DEGRE DE PRESSAGE DE LA CIBLE DONNE UNE MASSE VOLUMIQUE D'AU MOINS 75 DE CELLE DU MATERIAU SOLIDE. L'ATMOSPHERE DE PULVERISATION EST MAINTENUE ENTRE 110 ET 510 MB, AVEC UNE COMPOSITION DE 2 A 20 O, 40 A 70 H ET LE RESTE D'ARGON. SELON LA VITESSE DE LA BANDE, ON OBTIENT UNE EPAISSEUR DE COUCHE DE 10 A 100NM ET UNE RESISTIVITE DE 100 A 10000MO.CM.