| 发明名称 |
EVAPORATION OF MATERIAL FOR VAPOUR DEPOSITION DEVICE FOR PROPULSION IN SPACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2093484(A) |
申请公布日期 |
1982.09.02 |
| 申请号 |
GB19820004920 |
申请日期 |
1982.02.19 |
| 申请人 |
WELBILT ELECTRONIC DIE CORP |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/14;C23C14/24;C23C14/32;H01J37/32;H01L21/203;H01L21/285;H05K1/03;H05K3/38;(IPC1-7):C23C13/12;F02K7/00 |
主分类号 |
C23C14/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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