发明名称 METHODS OF PRODUCING SHEETS OF CRYSTALLINE MATERIAL AND DEVICES MADE THEREFROM
摘要 Procede de production de feuilles d'un materiau cristallin, et dispositifs utilisant de telles feuilles. Dans le procede, un masque de croissance (12) est forme sur un substrat (10) et un materiau cristallin est developpe dans des regions (14) du substrat (10) expose au travers du masque (12) et lateralement sur la surface du masque (12) pour former une feuille de materiau cristallin (18). Cette feuille (18) est eventuellement separee de sorte que le substrat (10) puisse etre reutilise. Le procede presente une importance particuliere pour la formation de feuilles d'un materiau cristallin semi-conducteur utilise dans des dispositifs a semi-conducteurs.
申请公布号 WO8102948(A1) 申请公布日期 1981.10.15
申请号 WO1981US00439 申请日期 1981.04.06
申请人 MASSACHUSETTS INST TECHNOLOGY 发明人 BOZLER C;MCCLELLAND R;FAN J
分类号 C30B19/00;C30B25/02;C30B25/04;C30B33/00;H01L21/20;H01L21/263;H01L21/84;H01L25/04;H01L31/04;H01L31/042;H01L31/0687;H01L31/18;H01S5/02 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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