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发明名称 VAKUUMAUFDAMPFANLAGE MIR EINER VENTILKAMMER, EINER BEDAMPFUNGSKAMMER UND EINER VERDAMPFERKAMMER
摘要
申请公布号 DE2940064(A1) 申请公布日期 1981.04.16
申请号 DE19792940064 申请日期 1979.10.03
申请人 LEYBOLD-HERAEUS GMBH 发明人 MAHLER,PETER
分类号 C23C14/32;C23C14/00;C23C14/24;C23C14/56;(IPC1-7):C23C13/08 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
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