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发明名称 METHOD OF DIFFUSING HEAVY METAL INTO SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS55128824(A) 申请公布日期 1980.10.06
申请号 JP19790035580 申请日期 1979.03.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 TANIGUCHI HIROYUKI;MONMA NAOHIRO
分类号 H01L21/322;H01L21/22 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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