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发明名称 FOTOLEITFAEHIGE SCHICHT AUS HYDRIERTEM, AMORPHEM SILICIUM
摘要
申请公布号 DE2951834(A1) 申请公布日期 1980.07.17
申请号 DE19792951834 申请日期 1979.12.21
申请人 CANON K.K. 发明人 SUGATA,MASAO;FUKAYA,MASAKI;KAWASAKI,KANAGAWA;NAKAGIRI,TAKASHI;YAMAGATA,TAKAAKI;HIRAI,YUTAKA
分类号 G03G5/08;C23C16/509;G03G5/082;G03G5/10;H01L31/0248;H01L31/09;H01L31/20;(IPC1-7):H01L31/04;H01L31/08;H01L31/14 主分类号 G03G5/08
代理机构 代理人
主权项
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