发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5587440(A) 申请公布日期 1980.07.02
申请号 JP19780164027 申请日期 1978.12.25
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKAMURA MORITAKA;OGAWA RIYUUICHI;TODA KAZUO
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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