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发明名称
摘要
申请公布号 DE2462105(C3) 申请公布日期 1980.02.14
申请号 DE19742462105 申请日期 1974.08.02
申请人 SIEMENS AG, 1000 BERLIN UND 8000 MUENCHEN 发明人 RUBNER, ROLAND, DR., 8551 ROETTENBACH;KLEEBERG, WOLFGANG, DR.;KUEHN, EBERHARD
分类号 G03F7/038;(IPC1-7):G03FX/;C08G73/10;G03C1/71;H01L21/312;H05K3/06 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人
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