| 发明名称 |
MANUFACTUR OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS54125984(A) |
申请公布日期 |
1979.09.29 |
| 申请号 |
JP19780033655 |
申请日期 |
1978.03.24 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
HAYAFUJI TAKANORI;KAWATO SEIJI |
| 分类号 |
H01L21/306;H01L21/30;H01L21/316;H01L21/322;H01L21/331;H01L29/02;H01L29/73 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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