发明名称 FORMING METHOD OF TWO LAYER PROTECTIVE FILM
摘要
申请公布号 JPS5413269(A) 申请公布日期 1979.01.31
申请号 JP19770077931 申请日期 1977.07.01
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAKEYA KAORU
分类号 H01L21/3063;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/306;H01L21/312;H01L21/316 主分类号 H01L21/3063
代理机构 代理人
主权项
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