发明名称 SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE CONTAINING FLOATING TYPE POLY SILICON LAYER AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPS53124084(A) 申请公布日期 1978.10.30
申请号 JP19770038528 申请日期 1977.04.06
申请人 HITACHI LTD 发明人 OSA YASUNOBU;SHIMIZU SHINJI
分类号 H01L21/8247;H01L21/28;H01L29/51;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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