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发明名称 METHOD OF PRODUCING PROTECTIVE PATTERNS WITH AID OF DRY NEGATIVE PHOTORESISTS
摘要
申请公布号 SU615447(A1) 申请公布日期 1978.07.15
申请号 SU19762352768 申请日期 1976.04.16
申请人 GO G UNIV IM.N.I.LOBACHEVSKOGO 发明人 OLEJNIK ANATOLIJ V,SU;TREUSHNIKOV VALERIJ M,SU;GUSARSKAYA NATALIYA L,SU;ZELENTSOV SERGEJ V,SU;MELIKOVA GAYANE L,SU;LEBEDEVA VERA G,SU
分类号 (IPC1-7):G03C1/68 主分类号 (IPC1-7):G03C1/68
代理机构 代理人
主权项
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