发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要 PURPOSE:To form a clean Al surface on the exposed metal surface of the opening parts formed, in a resin insulation method wiring structural body.
申请公布号 JPS5333582(A) 申请公布日期 1978.03.29
申请号 JP19760107797 申请日期 1976.09.10
申请人 HITACHI LTD 发明人 OOKUBO TOSHIO;MUKAI KIICHIROU;SAIKI ATSUSHI;YAMANAKA KAZUSUKE;TAKAHASHI SHIGERU;HARADA TADAYOSHI
分类号 H01L21/308;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/302 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
地址