| 发明名称 |
EVALUTION OF MATERIAL STRUCTURE |
| 摘要 |
PURPOSE:To evaluate a wide range of changes in crystallinity of materials such as silicon by utilization of Raman scattering spectrum. |
| 申请公布号 |
JPS5327483(A) |
申请公布日期 |
1978.03.14 |
| 申请号 |
JP19760101657 |
申请日期 |
1976.08.27 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SHIMADA JIYUICHI;KOBAYASHI KEISUKE;KATAYAMA RIYOUSHI;KOMATSUBARA KIICHI |
| 分类号 |
G01N21/65;G01J3/44 |
主分类号 |
G01N21/65 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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