| 发明名称 |
PATTERN INSPECTION METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5322368(A) |
申请公布日期 |
1978.03.01 |
| 申请号 |
JP19760097268 |
申请日期 |
1976.08.13 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
FURUKAWA YASUO;INAGAKI TAKESHI;GOTOU YOSHIAKI |
| 分类号 |
H01J37/28;G01B15/00;G01R31/302;H01L21/027;H01L21/26;H01L21/302;H01L21/66 |
主分类号 |
H01J37/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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