发明名称 ELECTRON LENS
摘要
申请公布号 JPS538049(A) 申请公布日期 1978.01.25
申请号 JP19760081985 申请日期 1976.07.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 SENTORI MICHIO;KASHIWARA YASUNARI;KATSUTA TEIJI;KATAGIRI SHINJIROU;KOMODA TADASHI;OZASA SUSUMU
分类号 H01J37/141;H01J37/14 主分类号 H01J37/141
代理机构 代理人
主权项
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