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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS538072(A) 申请公布日期 1978.01.25
申请号 JP19760081487 申请日期 1976.07.10
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 NATORI KENJI;MASUOKA FUJIO
分类号 H01L29/78;H01L21/31;H01L21/316;H01L29/06 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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