| 发明名称 |
WERKWIJZE EN INRICHTING VOOR HET DETEKTEREN VAN FOUTEN OP EEN FOTOMASKER. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL7705607(A) |
申请公布日期 |
1977.12.02 |
| 申请号 |
NL19770005607 |
申请日期 |
1977.05.20 |
| 申请人 |
EGYESUELT IZZOLAMPA ES VILLAMOSSAGI RESZVENYTARSASAG TE BOEDAPEST. |
发明人 |
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| 分类号 |
G01B9/021;G01N21/956;(IPC1-7):G03B15/00;G01N21/22;G03H1/04 |
主分类号 |
G01B9/021 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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