发明名称
摘要
申请公布号 JPS5216703(Y2) 申请公布日期 1977.04.14
申请号 JP19710089607U 申请日期 1971.09.30
申请人 发明人
分类号 H02P29/00;H01L21/822;H01L21/8222;H01L27/04;H01L27/06;H02P5/00;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H02P29/00
代理机构 代理人
主权项
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