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发明名称
摘要
申请公布号
JP4233953(B2)
申请公布日期
2009.03.04
申请号
JP20030287161
申请日期
2003.08.05
申请人
发明人
分类号
H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/02;H01L27/108;H01L29/76;H01L29/94
主分类号
H01L21/8242
代理机构
代理人
主权项
地址
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