发明名称 ELLIPSOMETER
摘要
申请公布号 DE69211247(T2) 申请公布日期 1997.02.13
申请号 DE19926011247T 申请日期 1992.01.27
申请人 NKK CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KAZAMA, AKIRA, CHIYODA-KU, TOKYO 100, JP;OSHIGE, TAKAHIKO, CHIYODA-KU, TOKYO 100, JP;YAMADA, YOSHIRO, CHIYODA-KU, TOKYO 100, JP;YAMADA, TAKEO, CHIYODA-KU, TOKYO 100, JP;YAMAZAKI, TAKESHI, CHIYODA-KU, TOKYO 100, JP;TAKAYAMA, TAKAMITSU, CHIYODA-KU, TOKYO 100, JP;NOMURA, SHUICHIRO, CHIYODA-KU, TOKYO 100, JP
分类号 G01B11/06;(IPC1-7):G01B11/06;G01J4/04;G01N21/21;G02B5/30 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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